在 Mini LED封裝過(guò)程中，由于微粒污染物、氧化物和環(huán)氧樹(shù)脂等污染物的存在，將對(duì) Mini LED器件的良品率產(chǎn)生較大的影響，而點(diǎn)膠前、引線(xiàn)鍵合前和固化前的等離子清洗，可以有效地清除微粒污染物。